Плазменные покрытия (свойства и применение)

Учебное пособие. - Томск, ТПУ, 2011. - 137 с.В пособии изложен обзор основных видов тонкопленочных покрытий, наносимых с использованием низкотемпературной плазмы и вакууме. Рассмотрена роль тонкопленочных покрытий в технологических процессах и важность задачи разработки новых покрытий с улучшенными характеристиками. Сформулировано значение и описаны способы предварительной очистки поверхности перед нанесением на нее тонких пленок. Рассмотрены физические, механические и химические свойства покрытий, различающихся по химическому составу и областям применения, а также основные методы измерения и контроля параметров покрытий.Предназначено для бакалавров, обучающихся по направлению 011200 "Физика" и магистров физики, обучающихся по программам: "Физика плазмы", "Пучковые и плазменные технологии", "Водородная энергетика".